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烤胶机与真空干燥箱相比有哪些优点?

发布时间:2021-05-19      点击次数:123
  烤胶机是针对半导体工艺生产中晶圆烘烤而设计的一款产品,烤胶机可在电子、化工等行业的工矿企业、科研、教育等单位,进行热老化、温度试验及干燥、烘焙、消毒和热处理等试验用。与传统的真空干燥箱相比,利用烤胶机固化膜层的优势有:

(1)烘烤时间减少;

(2)重复性高;

(3)对薄膜的固化效果好。

  烤胶机整个面板温度均匀,对基片膜层固化效果非常好。由于固化是从下往上,所以不会“皮肤效应”。这种“由里而外”的固化方式尤其适合较厚的膜层,因为最靠近基片的膜层会首先固化好,然后是膜层靠外的部分。该设备由于升温迅速,所以产量较高。烘烤时间用秒计算,而不是像传统烘箱用分钟或者小时计算。

  TC-V300烤胶机外观小巧精致,采用高精度微处理器,温度控制更加准确,升温速率可控,可编辑多段温度曲,线烘烤时间短、重复性高和薄膜固化效果好。