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什么是位移探针台?

发布时间:2022-05-19      点击次数:179
  探针台是半导体(包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器)行业的重要检测设备之一,其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量,旨在确保半导体元器件和电路的质量及可靠性,并缩短研发时间和器件制造的工艺成本。探针台主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。探针台主要应用于半导体行业以及光电行业得研发,生产制造,失效分析等,是对晶圆上得器件进行电特性测试或故障分析而使用得精密机台,通过探针台能很好得帮助工程技术人员实现微小位置得电学参数测试。
 
  重光提供的位移探针台可以在测试准备和测试过程中准确移动探针位置,实现微米级别的电极接触;同时探针前端可调整角度和长度,从而适应样品范围更加广泛。位移探针台的温度范围-196到600℃,探针后端XYZ轴方向位置可调,位移精度1um,位移范围±6mm,且探针前端水平角度和长度可调。