变温电阻率测试系统(RMS)-武汉重光科技有限公司

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详细介绍

一、产品应用

变温电阻率测试系统（RMS）采用四探针法技术，可在高低温环境下对半导体材料、金属材料（例如康铜、镍、铋）以及部分非金属样品（例如石墨、碳材料等）的电阻率进行测量。在材料科学研究、电子器件研发与质量检测、超导材料研究方面均发挥了重要的作用。

二、产品特点

1. 变温范围广，-190℃到 1200℃全覆盖，且变温过程中升降温速率可控；

2. 测试精度高范围广，电阻测量范围 1e-8Ω 到 1.2e+9Ω;

3. 测试数据量大且完整，变温过程中持续采集，电阻率数据每秒采集 2 次｡

三、产品参数

参数类型	项目	技术参数
基本参数	型号	RMS-600	RMS-1200
	外观尺寸	140m120mm42mm
	样品台材质	纯银	氧化铝陶瓷
	样品台大小	30mm*20mm	Φ16mm
	腔体净重	1kg
	真空度	≤1Pa
温度参数	温度范围	-190℃到 600℃	RT 到 1200℃
	温度分辨率	0.1℃
	控温精度	±0.1℃
	最大加热速率	50℃/min	100℃/min
	最大冷却速率	-25℃/min	自然降温
	加热元件	加热棒	铂丝加热器
	温度传感器	铂电阻	S型热电偶
电学参数	探针类型	固定探针 (探针前端位置和角度可调)
	调节方式	手动调节
	探针材质	钨钢或铍铜
	探针数量	4个
光学参数	观察窗个数	1
	正面观察窗大小	Φ41mm		Φ32mm
	窗片材质	石英
整机参数	控制箱尺寸	350mm350mm150mm
	用电要求	220V/50Hz
	控温算法	二自由度PID
	人机交互	WinTemp-RMS
	整机功率	200W			400W
电阻率测试参数	电阻率测试误差	≤10%
	重复性测试误差	≤3%
	电阻率测量范围	1e-8Ω 到 1.2e+9Ω
	样品尺寸要求	L≥10mm W≤4mm T≥50nm (适用于与块状、片状、丝材和带基底的薄膜样品)

四、测试结果

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变温电阻率测试系统(RMS)