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TC504-VA

真空加热台是一种集成了真空环境控制和精准温度调节功能的设备,广泛应用于半导体与电子行业的晶圆退火、芯片封装脱气、电子浆料固化、传感器元件的高温稳定性测试;材料科学的纳米材料的制备与热处理、薄膜沉积后的真空退火、复合材料的真空固化等。

技术参数 产品特点 资料下载

◎ 采用分体式设计,包含真空腔体和温控装置两部分;
◎ 新颖的数字式加热设计,可以精准的控制表面温度;
◎ 独立的防过热电路设计,确保试验安全;
◎ 该型号可以拓展真空环境中的大面积低温台,用于低温探针台和材料处理等领域;
附件:真空泵、真空管路、真空计和阀门等。