变温电阻率测试系统(RMS)
变温电阻率测试系统（RMS）采用四探针法技术，可在高低温环境下对半导体材料、金属材料（例如康铜、镍、铋）以及部分非金属样品（例如石墨、碳材料等）的电阻率进行测量。在材料科学研究、电子器件研发与质量检测、超导材料研究方面均发挥了重要的作用。
测试结果
技术参数
产品特点
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参数类型 | 项目 | 技术参数 | |||
基本参数 | 型号 | RMS-600 | RMS-1200 | ||
外观尺寸 | 140m*120mm*42mm | ||||
样品台材质 | 纯银 | 氧化铝陶瓷 | |||
样品台大小 | 30mm*20mm | Φ16mm | |||
腔体净重 | 1kg | ||||
真空度 | ≤1Pa | ||||
温度参数 | 温度范围 | -190℃到 600℃ | RT 到 1200℃ | ||
温度分辨率 | 0.1℃ | ||||
控温精度 | ±0.1℃ | ||||
最大加热速率 | 50℃/min | 100℃/min | |||
最大冷却速率 | -25℃/min | 自然降温 | |||
加热元件 | 加热棒 | 铂丝加热器 | |||
温度传感器 | 铂电阻 | S型热电偶 | |||
电学参数 | 探针类型 | 固定探针 (探针前端位置和角度可调) | |||
调节方式 | 手动调节 | ||||
探针材质 | 钨钢或铍铜 | ||||
探针数量 | 4个 | ||||
光学参数 | 观察窗个数 | 1 | |||
正面观察窗大小 | Φ41mm | Φ32mm | |||
窗片材质 | 石英 | ||||
整机参数 | 控制箱尺寸 | 350mm*350mm*150mm | |||
用电要求 | 220V/50Hz | ||||
控温算法 | 二自由度PID | ||||
人机交互 | WinTemp-RMS | ||||
整机功率 | 200W | 400W | |||
电阻率测试参数 | 电阻率测试误差 | ≤10% | |||
重复性测试误差 | ≤3% | ||||
电阻率测量范围 | 1e-8Ω 到 1.2e+9Ω | ||||
样品尺寸要求 | L≥10mm W≤4mm T≥50nm (适用于与块状、片状、丝材和带基底的薄膜样品) | ||||
1. 变温范围广，-190℃到 1200℃全覆盖，且变温过程中升降温速率可控；
2. 测试精度高范围广，电阻测量范围 1e-8Ω 到 1.2e+9Ω;
3. 测试数据量大且完整，变温过程中持续采集，电阻率数据每秒采集 2 次｡
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